自動測定機
【自動測定機の特徴】
(1)倍率0.5~120倍で測定。
(2)ステージにスケールが埋め込んであり、移動量が
デジタルカウンタ、もしくはソフト上で表示される。
(3)非接触で測定が可能。
(4)測定の手順方法をプログラムし、それに沿って機械が自動で測定。
(5)ステージはパソコンのソフト、又はジョイスティックで操作。
(6)基本的に3軸モデル(XYZ)。
(7)組み合わせによってはレーザーを搭載し、精密な高さ測定が可能。
(8)組み合わせによっては接触プローブを搭載し、接触測定が可能。
【自動測定機での主な観察対象物・用途】
量産品の全数検査
(1)高密度電子部品
(2)MEMS(Micro-Electro-Mechanical-Systems)(微小電気機械素子)