技術トピックTechnical Infomation


顕微鏡の種類と特徴

自動測定機


  【自動測定機の特徴】
     (1)倍率0.5~120倍で測定。
     (2)ステージにスケールが埋め込んであり、移動量が
      デジタルカウンタ、もしくはソフト上で表示される。
     (3)非接触で測定が可能。
     (4)測定の手順方法をプログラムし、それに沿って機械が自動で測定。
     (5)ステージはパソコンのソフト、又はジョイスティックで操作。
     (6)基本的に3軸モデル(XYZ)。
     (7)組み合わせによってはレーザーを搭載し、精密な高さ測定が可能。
     (8)組み合わせによっては接触プローブを搭載し、接触測定が可能。

  【自動測定機での主な観察対象物・用途】
     量産品の全数検査
     (1)高密度電子部品
     (2)MEMS(Micro-Electro-Mechanical-Systems)(微小電気機械素子)


前のページ        次のページ